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PZT厚膜压电MEMS器件

  • 分类：硬件案例
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  • 来源：
  • 发布时间：2022-06-16
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PZT厚膜压电MEMS器件

【概要描述】

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在MEMS行波马达、超声换能器(PMUT)设计及制造领域，申请发明专利十余项。

 

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