01 光衰减器的设计范例

1、器件整体结构图片

2、热驱动式VOA器件核心部件工作原理图

3、VOA器件版图文件：用版图编辑模块Blueprint模块绘制生产版图文件

4、VOA器件工艺模拟：工艺流程在IntelliFab模块中进行编辑生成，之后在 FabSim里面做工艺流程仿真

5、工艺仿真结果可以直接生成完整的VOA有限元模型，即可以导出到多物理场耦合分析模块(TEM模块）做进一步的器件性能分析

6、完整VOA模型的有限元分析结果

（位移结果）

（温度分布）

7、VOA核心部件结构版图

8、用版图导入三维建模模块3Dbuilder模块直接生成三维结构并划分网格为下一步有限元分析做准备

9、此有限元模型导入到TEM模块进行器件性能分析

（设置分析类型）

（静态分析、热机电耦合分析）

（材料参数设定）

  (定义VOA边界条件及荷载）

10、得出VOA器件主结构的分析结果

（温度分布结果）

（电压分布结果）

11、因为VOA器件中的动梁的倾斜角度对器件性能的影响，我们将在Parametric Designer参数化分析模块中进行参数化分析，将分析得出梁的倾角（如图所示）与位移的变化关系

(建立参数化分析模型:将倾角分成10个值，即建立10个模型)

（参数化分析版图）

（参数化分析有限元模型）

（参数化分析流程）

（参数化分析结果:倾角与位移关系分析结果）