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lntelliSuite软件可以实现各种MEMS器件从版图设计,工艺设计到器件性能设计以及系统设计的完整设计流程。可以完成工艺仿真结构的直接提取,网格划分再到多物理场分析,以及参数化分析。
在这个例子中将会展示工艺仿真结构的提取,网格划分和多物理场分析,即通过物理级仿真,IntelliSuite的工艺仿真模块FabSim可以为用户提供一个精确逼近真实结果的结构,在进行后续有限元分析之前,IntelliSuite可以提取工艺仿真的结构,将体素模型转化成几何模型,经过必要的简化后,网格划分引擎可以对这个几何模型进行处理,构建FEA模型,并用于后续的多物理场分析中。以下这款加速度计的例子是用IntelliSuite软件工具设计后正式流片的真实器件,它的设计流程将会完整诠释IntelliSuite软件的强大功能。
1、物理级工艺仿真
2、提取核心部件
3、构建几何模型
4、自动网格划分
5、它的工作原理是质量块被施加了一定的加速度后,器件内部产生应力,应力又影响压阻阻值的大小,提取压阻子模型,通过再施加合适的负载,如下图所示,得到压阻子模型的电势分布和温度分布,通过测量PADl和PAD3的电势,可以得到能够反映加速度的电势差。
(负载示意图)
(电势云图)
(温度云图)
6、分析后可以得到加速度的性能曲线,从测量多组数据可以看出本器件具有良好的线性关系。
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电容式加速度计设计范例
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