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压电超声换能器(PMUT)设计、加工

压电超声换能器(PMUT)设计、加工

  • 分类:公司新闻
  • 作者:
  • 来源:
  • 发布时间:2020-04-01 00:00
  • 访问量:

【概要描述】微机械压电超声换能器(PMUT)是基于MEMS工艺制造的超声换能器,其具有体积小、功耗低、频带宽,易与IC集成等一系列有点。我公司从器件设计、制造、封装测试等多个方向优化了器件性能,为PMUT商业应用打下了坚实的基础。目前,我公司设计生产了包含低(40~200KHz)、中(1~5MHz)以及高(5~10MHz)的PMUT器件,并实现了相邻单元超低的串扰。

压电超声换能器(PMUT)设计、加工

【概要描述】微机械压电超声换能器(PMUT)是基于MEMS工艺制造的超声换能器,其具有体积小、功耗低、频带宽,易与IC集成等一系列有点。我公司从器件设计、制造、封装测试等多个方向优化了器件性能,为PMUT商业应用打下了坚实的基础。目前,我公司设计生产了包含低(40~200KHz)、中(1~5MHz)以及高(5~10MHz)的PMUT器件,并实现了相邻单元超低的串扰。

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微机械压电超声换能器(PMUT)是基于MEMS工艺制造的超声换能器,其具有体积小、功耗低、频带宽,易与IC集成等一系列有点。我公司从器件设计、制造、封装测试等多个方向优化了器件性能,为PMUT商业应用打下了坚实的基础。目前,我公司设计生产了包含低(40~200KHz)、中(1~5MHz)以及高(5~10MHz)的PMUT器件,并实现了相邻单元超低的串扰。

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

潜在应用

1.材料缺陷超声成像(点阵、线阵和面阵,尺寸:1.5*1.5~20*20mm )

目前已设计制造的1M、3M、5M线阵和面阵(64通道,将来可扩展成128、256通道)单元可用于材料内部缺陷3D超声成像,点阵可用于材料层间结构以及层厚的检测。

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

2. 医用超声成像(线阵和面阵,尺寸:5*5~20*20mm)

较传统超声换能器而言,PMUT自身声阻抗与人体组织更接近,同时驱动电压较低。

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

3.超声压力检测(高频单元,尺寸<2mm*2mm)

较常规压力传感器而言,由于检测原理的不同,超声器件可不直接接触压力源,所以PMUT可被用于数十甚至是上百Mpa的恶劣环境下的压力检测。

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

4.超声风速风向测量/液位测量/物体存在检测(低频单元(40~200KHz),尺寸<2.5mm*2.5mm)

此类以空气作为传输介质的测量通常使用气介式超声换能器,不过传统的压电式超声换能器其声阻抗约为3~35MRayl,而空气的声阻抗只有0.00034MRayl,他们之间阻抗严重失配;而PMUT则很容易实现0.1MRayl以下的声阻抗设计,从而可大大提高器件电声转化效率。目前我公司设计生产的第一代低频超声在5m的范围内可检测到有效的超声信号。

 

江苏英特神斯科技有限公司

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