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IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

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日本名古屋大学微纳系统工程来公司参观访问

日期:2009年2月12日 18:54

  2009年2月12日,日本名古屋大学微纳系统工程系Miguel A. Gosalvez博士和Prem Pal博士来江苏英特神斯科技有限公司参观访问,并分别做了题为“An overview of anisotropic etching and its simulation”和“MEMS Fabrication Processes and Recent Advancements in CMOS Process Compatible Wet Anisotropic Etching”的学术报告,期间解决了公司工程师的疑问,双方还在报告结束后做了进一步的学术交流。

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