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MEMaterial材料数据库
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MEMaterial材料数据库

功能简介: 当前最全面的薄膜材料数据库和工艺优化工具,提供工艺参数和器件特性间的重要联系。
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产品编号
所属分类
工艺级
数量
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产品描述
技术参数

MEMaterial —Thin film expertise

Feature highlights

•100+ materials in database

•Material property as function of machine parameters

•Multivariate material property estimation

•Mechanical, electrical, thermal and optical properties

•Process characterization

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Material properties of a PECVD Si3N4 film

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模拟RIE/ICP(Bosch Process) 工艺,清晰反映加工工艺如何影响产品成型。

◆ 可调节侧边的圆齿、粗糙度及周期;

◆ RIE和DRIE的lag效应;

◆ 模拟最终实体形貌、侧面角度;

◆ 考虑掩膜影响;

◆ 为特定截面创建工艺参数可调整的结构;

◆ 支持Footing效应模拟;

◆ 支持工艺参数计算;

◆ DRIE刻蚀速率及深宽比校准工具。

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