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IntelliSuite软件

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一站式MEMS解决方案

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IntelliFab工艺流程编辑器
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IntelliFab工艺流程编辑器

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。
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产品编号
所属分类
工艺级
数量
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产品描述
技术参数

IntelliFAB – Process simulation

·Feature highlights

·Virtual prototyping

·Process validation

·Process databases

·Foundry ready templates

·Design - process integration

·Team collaboration

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

IntelliFab: Setup complex process flow

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

1.Process Editor for MEMS

IntelliFAB makes editing and organizing a process table quick and easy. Setup your virtual process traveller exactly as you would for a real foundry.

2.Group, section, organize

Grouping common sets of processes into process subsets makes the organizing a complex traveler easy. You can group your process flow in any which way you please: by material, by process type or by process option.

3.Process Pane

Enter process parameters,tolerances and visualization settings in a single consolidated pane

4.Filter with ease

Filtering tools allow you to quickly focus on the processes that you want to explore

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Export process traveler

 

江苏英特神斯科技有限公司

未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

◆ 完整的MEMS工艺流程,包括沉积、蚀刻、键合、掺杂和电镀等工艺。用户可添加自有工艺;

◆ 支持标准流片工艺,如MUMPS, SCREAM, SUMMIT, LIGA, Bosch Surface Micromachining等。用户可创建自有工艺模板;

◆ 动画形式显示工艺过程;

◆ 模拟任意工艺步骤后器件的三维模型;

◆ 自动输出材料参数,器件结构;

◆ 与MEMaterial模块结合,表现材料属性和工艺;

◆ 对器件的影响,实现更精确的多物理场模拟;

◆ 支持SOI材料,支持电阻率与方块电阻参数同步,支持SiO2参数自动估算。

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