

IntelliSuite软件
一站式MEMS解决方案
AnisE — wet etch simulation
Feature highlights
• Real time etching
• 100, 110 wafers
• Multiple etch stops
• Single/double sided etch
• Built-in etch database
• Direct geom. measurement
• Process deviation studies
Real world simulation capability
一站式MEMS解决方案
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