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FABSim三维工艺物理仿真模块
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1000

FABSim三维工艺物理仿真模块

功能简介: 精准的三维工艺物理模拟工具。
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产品编号
所属分类
工艺级
数量
-
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1
产品描述
技术参数

江苏英特神斯科技有限公司

 

Silicon and Quartz etching in FabSim

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Virtual Fabrication with FabSim

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Visualize complex MEMS (for process debug)

Export to PNG, AVI, PPT files etc..

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Wet Etching process in FabSim

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

DRIE process in FabSim

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Process simulation: DRIE processes with calibration

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

mask

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Experiment results

Users can do DRIE etching experiment as we designed.

And use experiment results to calibrate Fabsim for their own device.

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

DRIE simulation by simple model

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

DRIE simulation without calibration

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

DRIE simulation with calibration

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

high index etch

 

江苏英特神斯科技有限公司

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精准的三维工艺物理模拟工具。

◆ 用精确的物理仿真算法,支持淀积、光刻,刻蚀、氧化扩散等MEMS、IC工艺,更加接近真实工艺过程;

◆ 精度模式和快速模式两种仿真模式可选;

◆ Si DRIE和湿法各向异性刻蚀算法源自成熟的单工艺仿真算法,历经丰富的实践验证;

◆ 维体素图形显示技术,支持按工艺分层显示,方便观察器件内部结构信息;

◆ 支持PPT、AVI、JPG、rawiv等多种格式输出。

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