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MEMaterial材料数据库
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MEMaterial材料数据库

当前最全面的薄膜材料数据库和工艺优化工具,提供工艺参数和器件特性间的重要联系。 ◆ 包含多达70余种、基于真实工艺过程得到的 MEMS 常用薄膜材料属性,使模拟结果更加精确; ◆ 允许用户添加和自定义材料; ◆ 通过 IntelliFab 模块直接将材料属性输出到 TEM 分析模块; ◆ 优化工艺;
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当前最全面的薄膜材料数据库和工艺优化工具,提供工艺参数和器件特性间的重要联系。

◆ 包含多达70余种、基于真实工艺过程得到的 MEMS 常用薄膜材料属性,使模拟结果更加精确;

◆ 允许用户添加和自定义材料;

◆ 通过 IntelliFab 模块直接将材料属性输出到 TEM 分析模块;

◆ 优化工艺;

 

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