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IntelliFab工艺流程编辑器
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IntelliFab工艺流程编辑器

结合材料、版图创建器件的工艺流程，并可输出到FabSim模块生成三维虚拟模型，输出到TEM模块进行分析。 ◆ 完整的MEMS工艺流程，包括沉积、光刻、刻蚀、键合、电镀等工艺。用户可添加自有工艺； ◆ 支持标准MEMS工艺，如MUMPS, SCREAM, SUMMIT, LIGA, Bosch Surface Micromachining等。 ◆ 用户可创建自有工艺； ◆ 图形化的硅和石英等材料的各向异性湿法刻蚀速率展示与调节工具 ◆ 支持SOI材料，支持电阻率与方块电阻参数同步; ◆ 支持输出Excel格式工艺流程单 ◆ 结合FabSim模拟工艺流程生成的器件的三维模型； ◆ 结合TEM分析对器件的影响，实现更精确的多物理场模拟；
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结合材料、版图创建器件的工艺流程，并可输出到FabSim模块生成三维虚拟模型，输出到TEM模块进行分析。

◆ 完整的MEMS工艺流程，包括沉积、光刻、刻蚀、键合、电镀等工艺。用户可添加自有工艺;

◆ 支持标准MEMS工艺，如MUMPS, SCREAM, SUMMIT, LIGA, Bosch Surface Micromachining等。

◆ 用户可创建自有工艺;

◆ 图形化的硅和石英等材料的各向异性湿法刻蚀速率展示与调节工具

◆ 支持SOI材料，支持电阻率与方块电阻参数同步;

◆ 支持输出Excel格式工艺流程单

◆ 结合FabSim模拟工艺流程生成的器件的三维模型;

◆ 结合TEM分析对器件的影响，实现更精确的多物理场模拟;

 

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1IntelliFAB™   - 流程编辑器

IntelliSuite自下而上的设计是以流程设计为基础。熟悉的工艺步骤，如光刻、薄膜沉积和选择性蚀刻，构成了最终器件几何形状的基础。

使用IntelliFABTM可以使用户在进入CleanRoom之前进行流程调试和版图优化。它使您能够快速创建精确的虚拟模型，并且可以防止流程错误带来的损失。

 

 

 

IntelliFAB – Process simulation

·Feature highlights

·Virtual prototyping

·Process validation

·Process databases

·Foundry ready templates

·Design - process integration

·Team collaboration

 

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IntelliFab: Setup complex process flow

 

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1.Process Editor for MEMS

IntelliFAB makes editing and organizing a process table quick and easy. Setup your virtual process traveller exactly as you would for a real foundry.

2.Group, section, organize

Grouping common sets of processes into process subsets makes the organizing a complex traveler easy. You can group your process flow in any which way you please: by material, by process type or by process option.

3.Process Pane

Enter process parameters,tolerances and visualization settings in a single consolidated pane

4.Filter with ease

Filtering tools allow you to quickly focus on the processes that you want to explore

 

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Export process traveler

 

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工艺流程结果可以导出为多种格式，包括带有每个流程步骤幻灯片的Microsoft PowerPoint(完整的三维视图或任何所需的横截面)
未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加

结合材料、版图创建器件的工艺流程，并可输出到FabSim模块生成三维虚拟模型，输出到TEM模块进行分析。

◆ 完整的MEMS工艺流程，包括沉积、光刻、刻蚀、键合、电镀等工艺。用户可添加自有工艺;

◆ 支持标准MEMS工艺，如MUMPS, SCREAM, SUMMIT, LIGA, Bosch Surface Micromachining等。

◆ 用户可创建自有工艺;

◆ 图形化的硅和石英等材料的各向异性湿法刻蚀速率展示与调节工具

◆ 支持SOI材料，支持电阻率与方块电阻参数同步;

◆ 支持输出Excel格式工艺流程单

◆ 结合FabSim模拟工艺流程生成的器件的三维模型;

◆ 结合TEM分析对器件的影响，实现更精确的多物理场模拟;

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