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IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

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  • 名称: SME系统宏模型提取
  • 编号: 3002
  • 上架时间: 2015-09-23
  • 浏览次数: 161

System Model Extraction (SME)
 
 
 
 
 
Schematic of A Single Mirror
 
 
 
 
 
 
 
Schematic of Mirror Array
 
 
 
 
 
 
MEMS Mirror TEM
 
 
 
 
 
 
System Schematic Design
 
 
 
 
 
 
3D View of Performance
 
 
 
 
 
System Analysis
Displacement delays of the mirrors on the matrix diagonal
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Macro-Model Simulation in Cadence
 

创新的SME(系统宏模型提取)能够系统地分析MEMS器件动力学特性,提取器件特征参数,能够将一个大型的FEA模型转化成一个精确的N自由度能量模型,导入到SYNPLE模块中进行模拟,最终获得与全FEA分析一致的精确结果,而计算速度提高1000倍。

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