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IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

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  • 名称: FabViewer 三维工艺模块
  • 编号: 2002
  • 上架时间: 2015-10-14
  • 浏览次数: 182

基于三维体素操作的强大的工艺演示工具。

◆ 动画形式显示工艺过程;

◆ 模拟任意工艺步骤后器件的三维模型;

◆ 支持绝大多数MEMS工艺仿真,包括:各向同性/异性淀积,各向同性/异性刻蚀,湿法刻蚀,键合,光刻以及CMOS工艺中的氧化/注入等;

◆ 采用体素图形学技术,更加逼真的演示三维复杂器件结构;

◆ 采用体绘技术,通过旋转、平移、缩放、剖面等功能用户可以查看器件内部信息;

◆ 利用几何算法更加逼真模拟淀积和刻蚀过程。

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