IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

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  • 名称: Blueprint高级版图编辑模块
  • 功能简介: 专用于编辑MEMS版图的设计工具。

Blueprint supports input/ output 
of such standard format files 
as GDSII, DXF and BMP, PNG, 
JPG format files etc..
 
 
 

  Professional Mask Editor with Design Rule Check and Quick 3D Viewer

  

  Control the roundness/sharpness of entity corners

Merge entities by layer

  Split entities using a single line

  
Auto De-Embed
Reduce the entity’s vertex number using a specified tolerance

  Creat a polar/matrix array of object

 

  Generate new layers using existing layers

  BOOLEAN                                    SELECT

 

 

  AREA                                     DENSITY

 

 

VBScript

        

 

  Design Rule Check

              

 

  Quick 3D

 

 

 

        

 

 

  Blueprint supports input/output of such standard format files

as GDSII, DXF and BMP, PNG, JPG format files etc..

  

 

 

 

Cross Section

 

专用于编辑MEMS版图的设计工具。

◆ 多层版图编辑功能;

◆ 可对版图进行布尔运算;

◆ 形状和拓扑学的完美结合;

◆ 自动生成最优的器件结构版图;

◆ 能读取BMP,JPG,PNG等图片格式的文件;

◆ 能通过已有层按照一定的规则自动产生一系列新的单元至指定层;

◆ 对顶点数过多的多边形进行自动简化与切割;

◆ 能够绘制椭圆、弧形、不规则曲边和正弦曲线等复杂版图;

◆ 参数脚本编辑功能:改变器件参数,可以快捷、方便地修改器件结构,大大缩短设计时间;

◆ 各类常见MEMS器件版图脚本数据库,包含各种MEMS传感器、执行器、封装、测试和压力器件;

◆ 修改或创建新的参数脚本;

◆ 使用基于单元的VBS脚本创建复杂版图;

◆ 完整的GDSII文件转化功能;

◆ 兼容业界主流文件格式GDSII,MSK,DXF;

◆ 支持DESIGN RULE CHECK;

◆ 支持对版图进行各种布尔操作,可以很方便地创建复杂的结构;

◆ 完全支持CELL层状结构;

◆ 三维结构的工艺过程预览;

◆ 提供 Measurement and dimensioning tools,可以很方便地对版图进行标注。