IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

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  • 名称: MEMaterial材料数据库
  • 功能简介: 当前最全面的薄膜材料数据库和工艺优化工具,提供工艺参数和器件特性间的重要联系。

MEMaterial —Thin film expertise

Feature highlights

 

 

•100+ materials in database

•Material property as function of machine parameters

•Multivariate material property estimation

•Mechanical, electrical, thermal and optical properties

•Process characterization

 

 

 

      

 

  Material properties of a PECVD Si3N4 film

当前最全面的薄膜材料数据库和工艺优化工具,提供工艺参数和器件特性间的重要联系。

◆ 包含多达70余种、基于真实工艺过程得到的MEMS常用薄膜材料属性,使模拟结果更加精确;

◆ 允许用户添加和自定义材料;

◆ 通过IntelliFab模块直接将材料属性输出到TEM分析模块;

◆ 优化工艺。