IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

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一站式MEMS解决方案

  20世纪90年代IntelliSense公司就推出了专业MEMS设计软件IntelliSuite, 供客户做各类MEMS器件的设计研发,包括版图设计,工艺设计仿真,器件级多物理场耦合分析,以及系统级MEMS-IC联合仿真。我们专业的MEMS设计软件配之强大的设计团队以及一条专业MEMS生产线,可以为客户提供各类MEMS惯性器件芯片,RFMEMS器件芯片,MEMS传感器执行器芯片以及微流控芯片的设计加工一站式解决方案。