IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

产品推荐
  • 名称: IntelliFab工艺流程编辑器
  • 编号: 2001

IntelliFAB – Process simulation

·Feature highlights          

·Virtual prototyping         

·Process validation          

·Process databases           

·Foundry ready templates     

·Design - process integration

·Team collaboration          

 

 

 

 

 

  IntelliFab: Setup complex process flow

1.Process Editor for MEMS
  IntelliFAB makes editing and organizing a process table quick and easy. Setup your virtual process traveller exactly as you would for a real foundry.
 
2.Group, section, organize
  Grouping common sets of processes into process subsets makes the  organizing a complex traveler easy. You can group your process flow in any which way you please: by material, by process type or by process option.
 
3.Process Pane
  Enter process parameters,tolerances and visualization settings in a single consolidated pane
 
4.Filter with ease
  Filtering tools allow you to quickly focus on the processes that you want to explore
 
 

  Export process traveler

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

◆ 完整的MEMS工艺流程,包括沉积、蚀刻、键合、掺杂和电镀等工艺。用户可添加自有工艺;

◆ 支持标准流片工艺,如MUMPS, SCREAM, SUMMIT, LIGA, Bosch Surface Micromachining等。用户可创建自有工艺模板;

◆ 动画形式显示工艺过程;

◆ 模拟任意工艺步骤后器件的三维模型;

◆ 自动输出材料参数,器件结构;

◆ 与MEMaterial模块结合,表现材料属性和工艺;

◆ 对器件的影响,实现更精确的多物理场模拟;

◆ 支持SOI材料,支持电阻率与方块电阻参数同步,支持SiO2参数自动估算。

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