IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

产品推荐
  • 名称: SYNPLE系统分析模块
  • 编号: 3001

SYNPLE

 

 

Domain Synthesis and Simulation

Hierarchical multi-domain design
 
 
 
 
Schematic based design exploration
 
 
 
 
 
3D  Visualize simulation results
 
 
 
 

Schematic to mask

 
 
 
 
 
Schematic to process flow
Band pass filter
Process flow for fabricating the device is automatically derived
from the schematic and technology file information
 
 
 
 
 
Schematic to 3D model
 
 
 
 
Schematic to mesh
 
 
System simulation

A MEMS gyro with Coriolis force feedback

 
 
 
 
 
 

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行器件、电路综合设计的划时代产品。与IntelliSuite其它模块结合,可以解决工业界的许多技术难题。

◆ 良好的可拓展性框架,能够十分便捷地增加新单元;

◆ 灵活的单元定义方式,无需学习新的语言;

◆ 无需花费大量时间计算Jacobian行列式,计算速度明显优于传统数值方法;

◆ 预先设有包含模拟、数字、数模混合、机械以及MEMS元件的单元库。并且还在不断地更新中;

◆ 创新的SME(系统模型提取)能够系统地分析MEMS器件动力学特性,提取器件特征参数,能够将一个大型的FEA模型转化成一个精确的N自由度能量模型,导入到SYNPLE模块中进行模拟,最终获得与全FEA分析一致的结果,而计算速度提高1000倍;

◆ 特别针对MEMS陀螺仪、加速度计等惯性器件开发的mEFM(多重表面网格划分)算法可高效、精确地分析复杂梳齿结构特性参数,大大提高运算效率;

◆ 基于Jiles-Atherton模型和二次畴转模型,考虑变化磁场的滞回效应,开发出磁机械耦合和磁压电耦合的MEMS单元。

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