IntelliSuite软件

器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析。

工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

系统级

应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台。

建模工具

设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

产品推荐
  • 名称: 3D Builder 三维建模模块
  • 编号: 4002

 

Refine Mesh without vertices

  

AutoRemesh

Users can get mesh directly from process simulation.

MeshManip

互动式编辑器件三维模型的强大工具。

◆ 直角坐标和极坐标格点辅助创建器件的最优化模型;

◆ 对齐网格或对齐点(包括中点、交点和分割点等);

◆ 输入版图(GDS,DXF或VEC格式)优化模型;

◆ 对指定部分进行网格细分,如蛛网式、拉链式和发散式等;

◆ 兼容ANSYS、ABAQUS、PATRAN、I-DEAS格式;

◆ 能求解大规模矩阵;

◆ 方便地修改结构厚度和间隙;

◆ 自动验证网格质量与正确性;

◆ 由二维版图直接生成模型并划分成六面体网格;

◆ 自动校正不连通的网格(网格数量较少的情况下);

◆ 建立斜面网格。

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