微纳器件加工服务
2022-06-15 15:55
一、设计能力：
我公司是一家专业从事MEMS软件开发与硬件设计的公司，在器件仿真、加工工艺仿真和版图设计均可提供强大的软件和技术支持。
Intellisuite 物理仿真
Fabsim工艺仿真(其中包含薄膜沉积、光刻、刻蚀等三十余道工序)
二、制造能力：
我公司建有一条6英寸MEMS产线，可完成包含光刻、镀膜、刻蚀、键合在内的多数工艺，具有良好的器件精度及良率。
高深宽比刻蚀(100∶1)，侧壁陡直度优于1%
三、封装测试能力：
结合PMUT自身特点，开发了小型化封装工艺，并开发了用于前期测试的16通道及64通道收发电路，可实现对PMUT发射以及回波信号接收、滤波、放大等功能。
PMUT小型化封装
用于PMUT测试的16通道收发电路
目前在研产品
2.5~20KHz声波传感器
20~500KHz低频空气耦合超声换能器
100KHz~1MHz水下超声换能器
1M~5MHz医用及无损检测超声换能器
5~10MHz中高频医用超声换能器
