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2022-06-16 18:02
自主设计和加工硅V型槽(Silicon V-groove)及其阵列相关产品的能力，刻蚀表面粗糙度Ra<10nm，右侧图所示为用于Planar Lightwave Circuit(PLC)、Arrayed waveguide grating(AWG)和Wavelength selector switch(WSS)等V型槽阵列，左侧所示为用于基因检测的毛细管阵列芯片。
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