应用举例一:空气耦合换能器
尺寸小,且与空气声阻抗更匹配,低频段,小型化便携式空气中障碍物检测:机器人、VR、无人机、人机交互、防盗、气体流量监测等
特殊场合的便携人体诊断:战场、地震等超声波通信、无线充电、原位内嵌监测
应用举例二:结构件内部缺陷无损检测
应用举例三:植入式微型超声
体积小、功率低、电压低
超声波通信、无线充电、原位内嵌监测(螺栓探测、微间隙监测)
应用举例四:管道内液体流速(流量)在线监测
PMUT体积小,可与ASIC集成到一起形成超声微模组,可对管道内液体流量进行实时在线监测。
应用举例五:管道压力在线监测
管道内液体受到压力增加时,其密度和弹性模量都会随之增加,所以声速会发生改变,反应在超声检测系统中即回波时间不同,从而进行介质压力检测;
使用PMUT模组可实现管道内加大的压力(数十兆帕)在线测量。
超声模组1
超声模组2
应用举例六:基于自研PMUT 的材料内部B扫成像:
应用举例七:材料内部3D成像
使用PMUT面阵可实现对材料内部进行3D成像,目前我公司已开展64及256通道面阵PMUT研究。
应用举例八:水声成像
以PMUT作为水下成像声呐的接收阵,具有声阻抗易于匹配,大阵列、小型化、高灵敏度等优点
使用频率:100KHz~1MHz 探测距离:10~1000m 成像模式:2D或3D成像 成像距离误差:<5cm |
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使用频率:100KHz~1MHz
探测距离:10~1000m
成像模式:2D或3D成像
成像距离误差:<5cm
PMUT器件产品
高频窄间距线阵
16通道线阵 通道中心距:0.33mm 频率:3/5MHz 芯片尺寸:6*3.5mm² |
双电极16通道线阵 通道中心距:0.33mm 频率:3/5MHz 芯片尺寸:6*3.5mm² |
窄间距16通道线阵 通道中心距:0.25mm 频率:3/5MHz 芯片尺寸:5*3.5mm² |
32通道线阵(每两列为一个通道,为增加声发射强度)
通道中心距:0.58mm
频率:3/5MHz
芯片尺寸:20*3.5mm²
64通道线阵
通道中心距:0.25mm
频率:3/5MHz
芯片尺寸:17*3.5mm²
64通道线阵
通道中心距:0.25mm
频率:1.5/3MHz
芯片尺寸:23*3.5mm²
64通道线阵
通道中心距:0.18mm
频率:5/10MMHz
芯片尺寸:23*3mm²
高频面阵
64通道窄间距面阵 通道中心距:0.25mm 频率:3/5MHz |
64通道窄间距面阵 通道中心距:0. 5mm 频率:3/5MHz |
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