压电微机械超声换能器应用
2021-06-26 14:16
应用举例一：空气耦合换能器
尺寸小，且与空气声阻抗更匹配，低频段，小型化便携式空气中障碍物检测：机器人、VR、无人机、人机交互、防盗、气体流量监测等
特殊场合的便携人体诊断：战场、地震等超声波通信、无线充电、原位内嵌监测
应用举例二：结构件内部缺陷无损检测
应用举例三：植入式微型超声
体积小、功率低、电压低
超声波通信、无线充电、原位内嵌监测(螺栓探测、微间隙监测)
应用举例四：管道内液体流速(流量)在线监测
PMUT体积小，可与ASIC集成到一起形成超声微模组，可对管道内液体流量进行实时在线监测。
应用举例五：管道压力在线监测
管道内液体受到压力增加时，其密度和弹性模量都会随之增加，所以声速会发生改变，反应在超声检测系统中即回波时间不同，从而进行介质压力检测;
使用PMUT模组可实现管道内加大的压力(数十兆帕)在线测量。
超声模组1
超声模组2
应用举例六：基于自研PMUT 的材料内部B扫成像：
应用举例七：材料内部3D成像
使用PMUT面阵可实现对材料内部进行3D成像，目前我公司已开展64及256通道面阵PMUT研究。
应用举例八：水声成像
以PMUT作为水下成像声呐的接收阵，具有声阻抗易于匹配，大阵列、小型化、高灵敏度等优点
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使用频率：100KHz~1MHz 探测距离：10~1000m 成像模式：2D或3D成像 成像距离误差：<5cm |
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使用频率：100KHz~1MHz
探测距离：10~1000m
成像模式：2D或3D成像
成像距离误差：<5cm
PMUT器件产品
高频窄间距线阵
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16通道线阵 通道中心距：0.33mm 频率：3/5MHz 芯片尺寸：6*3.5mm² |
双电极16通道线阵 通道中心距：0.33mm 频率：3/5MHz 芯片尺寸：6*3.5mm² |
窄间距16通道线阵 通道中心距：0.25mm 频率：3/5MHz 芯片尺寸：5*3.5mm² |
32通道线阵(每两列为一个通道，为增加声发射强度)
通道中心距：0.58mm
频率：3/5MHz
芯片尺寸：20*3.5mm²
64通道线阵
通道中心距：0.25mm
频率：3/5MHz
芯片尺寸：17*3.5mm²
64通道线阵
通道中心距：0.25mm
频率：1.5/3MHz
芯片尺寸：23*3.5mm²
64通道线阵
通道中心距：0.18mm
频率：5/10MMHz
芯片尺寸：23*3mm²
高频面阵
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64通道窄间距面阵 通道中心距：0.25mm 频率：3/5MHz |
64通道窄间距面阵 通道中心距：0. 5mm 频率：3/5MHz |
