射频开关设计范例
2022-07-04 14:01
IntelliSuite软件相对于其它MEMS设计、分析软件的技术优势之一在于其可以基于工艺模拟生成的真实物理模型，完成网格剖分、器件仿真及后续系统级分析。我们以射频开关的设计范例来进行展示说明。
设计版图
用Blueprint模块设计版图文件
工艺流程
用IntelliFab模块设计工艺流程
工艺模拟
用FabSim模块进行物理级工艺模拟
模型导出
从Fabsim导出几何模型
网格剖分
在MeshManip模块将导出的几何模型进行网格剖分
器件级仿真
设置仿真类型
设置接触对
设置载荷：
划分电网格：
接触分析结果：
Pull-in时模态贡献值
应变能
系统级分析
系统级模型：
设置器件属性：
设置仿真参数：
分析结果：
(a) 电容
(b) 脉冲电压信号
(c) 代表点位移
