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器件级

可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型 下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦

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工艺级

结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三 维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析。

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