应用举例一：空气耦合换能器

尺寸小，且与空气声阻抗更匹配，低频段，小型化便携式空气中障碍物检测：机器人、VR、无人机、人机交互、防盗、气体流量监测等

特殊场合的便携人体诊断：战场、地震等超声波通信、无线充电、原位内嵌监测

应用举例二：结构件内部缺陷无损检测

应用举例三：植入式微型超声

体积小、功率低、电压低

超声波通信、无线充电、原位内嵌监测(螺栓探测、微间隙监测)

应用举例四：管道内液体流速(流量)在线监测

PMUT体积小，可与ASIC集成到一起形成超声微模组，可对管道内液体流量进行实时在线监测。

应用举例五：管道压力在线监测

管道内液体受到压力增加时，其密度和弹性模量都会随之增加，所以声速会发生改变，反应在超声检测系统中即回波时间不同，从而进行介质压力检测;

使用PMUT模组可实现管道内加大的压力(数十兆帕)在线测量。

超声模组1

超声模组2

应用举例六：基于自研PMUT 的材料内部B扫成像：

应用举例七：材料内部3D成像

使用PMUT面阵可实现对材料内部进行3D成像，目前我公司已开展64及256通道面阵PMUT研究。

应用举例八：水声成像

以PMUT作为水下成像声呐的接收阵，具有声阻抗易于匹配，大阵列、小型化、高灵敏度等优点

使用频率：100KHz~1MHz 探测距离：10~1000m 成像模式：2D或3D成像 成像距离误差：<5cm

PMUT器件产品

高频窄间距线阵

32通道线阵(每两列为一个通道，为增加声发射强度)

通道中心距：0.58mm

频率：3/5MHz

芯片尺寸：20*3.5mm²

64通道线阵

通道中心距：0.25mm

频率：3/5MHz

芯片尺寸：17*3.5mm²

64通道线阵

通道中心距：0.25mm

频率：1.5/3MHz

芯片尺寸：23*3.5mm²

64通道线阵

通道中心距：0.18mm

频率：5/10MMHz

芯片尺寸：23*3mm²

高频面阵