创新的 SME(系统模型提取)能够系统地分析 MEMS 器件动力学特性，提取器件特征 参数，能够将一个大型的 FEA 模型转化成一个精确的 N 自由度能量模型，导入到 SYNPLE 模块中进行模拟，最终获得与全 FEA 分析一致的结果，而计算速度提高 1000 倍;
降阶宏模型提取
IntelliSuite 使用先进的模型简化方法，从有限元模型自动创建降阶宏模型。NDOF(N自由度)系统模型包含了多物理耦合，包括应力、静电、封装效应、流体和其他阻尼源。这些精确的降阶宏模型可以导出为支持VHDL、Verilog-A、SPICE等格式的文件，从而在Cadence、MATLAB等工具中进行MEMS-ASIC的全过程协同仿真。
System Model Extraction (SME)
Schematic of A Single Mirror
Schematic of Mirror Array
MEMS Mirror TEM
System Schematic Design
3D View of Performance
System Analysis
Displacement delays of the mirrors on the matrix diagonal
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