模拟 RIE/ICP(Bosch Process) 工艺，清晰反映加工工艺如何影响产品成型。
◆ 可调节侧边的圆齿、粗糙度及周期;
◆ RIE 和 DRIE 的 lag 效应;
◆ 模拟最终实体形貌、侧面角度;
◆ 考虑掩膜影响;
◆ 为特定截面创建工艺参数可调整的结构;
◆ 支持 Footing 效应模拟;
◆ 支持工艺参数计算;
◆ DRIE 刻蚀速率及深宽比校准工具;
ARDE
Micro-loading
various combinations of ARDE and microloading effect simulations
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