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当前全面的薄膜材料数据库和工艺优化工具，提供工艺参数和器件特性间的重要联系。

◆ 包含多达70余种、基于真实工艺过程得到的 MEMS 常用薄膜材料属性，使模拟结果更加精确;

◆ 允许用户添加和自定义材料;

◆ 通过 IntelliFab 模块直接将材料属性输出到 TEM 分析模块;

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Material properties of a PECVD Si3N4 film

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