当前全面的薄膜材料数据库和工艺优化工具，提供工艺参数和器件特性间的重要联系。
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◆ 允许用户添加和自定义材料;
◆ 通过 IntelliFab 模块直接将材料属性输出到 TEM 分析模块;
◆ 优化工艺;
Material properties of a PECVD Si3N4 film
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